Nanocrystalline silicon formation in a SiH4 plasma cell

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanocrystalline silicon formation in a SiH4 plasma cell

著者

和文:	M. Otobe, T. Kanai, T. Ifuku, H.Yajima, S. Oda.
英文:	M. Otobe, T. Kanai, T. Ifuku, H.Yajima, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Non-Crystalline Solids

巻, 号, ページ

Vol. 198-200 pp. 875-878

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: