Fabrication of Nanocrystalline Silicon with Small Spread of Particle Size by Pulsed Gas Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Nanocrystalline Silicon with Small Spread of Particle Size by Pulsed Gas Plasma

著者

和文:	Toru Ifuku, Masanori Otobe, Akira Itoh, Shunri Oda.
英文:	Toru Ifuku, Masanori Otobe, Akira Itoh, Shunri Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 36 pp. 4031-4034

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: