Fabrication and Electrical Characteristics of Single Electron Tunneling Devices Based on Si Quantum Dots Prepared by Plasma Processing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication and Electrical Characteristics of Single Electron Tunneling Devices Based on Si Quantum Dots Prepared by Plasma Processing

著者

和文:	Amit Dutta, Masao Kimura, Yoshiaki Honda, Masanori Otobe Akira Itoh, Shunri Oda.
英文:	Amit Dutta, Masao Kimura, Yoshiaki Honda, Masanori Otobe Akira Itoh, Shunri Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 36 pp. 4038-4041

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: