Grain-Size Control of Nanocrystalline Silicon by Pulsed Gas Plasma Process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Grain-Size Control of Nanocrystalline Silicon by Pulsed Gas Plasma Process

著者

和文:	Akira Itoh, Toru Ifuku, Masanori Otobe, S.Oda.
英文:	Akira Itoh, Toru Ifuku, Masanori Otobe, S.Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Research Society Symposium Proceedings

巻, 号, ページ

Vol. 452 pp. 749-754

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: