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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effective Suppress of Internal Stress in Co-Cr Films by using Mixture of Ar and Kr as Sputtering Gas 
著者
和文: 中川茂樹.  
英文: SHIGEKI NAKAGAWA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:学術雑誌 
英文:J. Magn. Magn. Mat. 
巻, 号, ページ Vol. 120        pp. 345-348
出版年月 1993年 
出版者
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会議名称
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開催地
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