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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Protective Carbon Films Deposited by DC-Bias Facing Targets Sputtering with Microscopic Ultraflatness and strong sp┣D13┫D1 coordination 
著者
和文: 直江正彦.  
英文: MASAHIKO NAOE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 81    No. 8    pp. 5405-5407
出版年月 1997年 
出版者
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会議名称
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開催地
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