Effects of Ion Bombardment to Interfaces on Residual Internal Stress and Crystalline Structures on Multilayered Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Ion Bombardment to Interfaces on Residual Internal Stress and Crystalline Structures on Multilayered Films

著者

和文:	直江正彦.
英文:	MASAHIKO NAOE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of 4th International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)

巻, 号, ページ

pp. 245-250

出版年月

1997年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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