Control of Nano-Structure of the Initial Growth Layers of Co-Cr Thin Films Deposited by Facing Targets Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Control of Nano-Structure of the Initial Growth Layers of Co-Cr Thin Films Deposited by Facing Targets Sputtering

著者

和文:	中川茂樹.
英文:	SHIGEKI NAKAGAWA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of 4┣D1th┫D1 International Symposium on Sputtering and Plasma Processing(ISSP'97)

巻, 号, ページ

pp. 151-156

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: