Numerical Modeling of a Nonequilibrium RF Induction Reactive Plasma Using Multicomponet Model

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical Modeling of a Nonequilibrium RF Induction Reactive Plasma Using Multicomponet Model

著者

和文:	Hideya Nishiyama, Yasutaka Shindo, 渡辺隆行.
英文:	Hideya Nishiyama, Yasutaka Shindo, Takayuki Watanabe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry

巻, 号, ページ

Vol. 4 pp. 1541-1546

出版年月

2001年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	15th International Symposium on Plasma Chemistry

開催地

和文:
英文:	Orleans, France