Improvement in Aspect Ratio of P-GaAs Oxide Fabricated by Atomic Force Microscope (AFM)-Based Nanolithography Using Pulsed Voltage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement in Aspect Ratio of P-GaAs Oxide Fabricated by Atomic Force Microscope (AFM)-Based Nanolithography Using Pulsed Voltage

著者

和文:	Yuichi MATSUZAKI, Shigeki HASUI, Shin-ya KAMADA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Yuichi MATSUZAKI, Shigeki HASUI, Shin-ya KAMADA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 40 No. 6B pp. 4325-4327

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: