Low Temperature Epitaxial Growth of Si and Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Films by Hot Wire Cell Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low Temperature Epitaxial Growth of Si and Si_1-yC_y Films by Hot Wire Cell Method

著者

和文:	Tatsuro WATAHIKI, Katsuya ABE, Hajime TAMURA, Shinsuke MIYAJIMA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Tatsuro WATAHIKI, Katsuya ABE, Hajime TAMURA, Shinsuke MIYAJIMA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	1st International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process

巻, 号, ページ

pp. 65-68

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: