New Positive-Type Chemically Amplified Photosensitive Poly(phenylene ether): 5 Poly[tert-butyl- a-( 2-hydroxy-3-methylphenoxy)acetate-co-2,6-dimethylphenol] with  Photoacid Generator,

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	New Positive-Type Chemically Amplified Photosensitive Poly(phenylene ether): 5 Poly[tert-butyl- a-( 2-hydroxy-3-methylphenoxy)acetate-co-2,6-dimethylphenol] with Photoacid Generator,

著者

和文:	Y. Sasada, Y. Shibasaki, M. Ueda.
英文:	Y. Sasada, Y. Shibasaki, M. Ueda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Forefront of Lithographic Materials Research

巻, 号, ページ

pp. 405-410

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:	Forefront of Lithographic Materials Research

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: