加熱TEM観察を利用したPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>強誘電体薄膜における残留応力のin-situ測定による強誘電体メモリ特性の向上に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	加熱TEM観察を利用したPb(Zr,Ti)O₃強誘電体薄膜における残留応力のin-situ測定による強誘電体メモリ特性の向上に関する研究
英文:	Study for improvement of Ferroelectric RAM by residual stress measurment by heating in-situ TEM analysis

著者

和文:	木口賢紀.
英文:	Takanori Kiguchi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	村田学術振興財団年報
英文:	Annual Report of The Murata Science Foundation

巻, 号, ページ

Vol. 15 pp. 38-42

出版年月

2001年12月

出版者

和文:	村田学術振興財団年報
英文:	Annual Report of The Murata Science Foundation

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: