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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Surface reaction mechanism and morphology controlin AIP atomic layer epitaxy 
著者
和文: M.Ishii, S.Iwai, T.Ueki, Y.Aoyagi.  
英文: M.Ishii, S.Iwai, T.Ueki, Y.Aoyagi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Thin Sol.Films 
巻, 号, ページ Vol. 318        pp. 234
出版年月 1998年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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