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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:ENHANCEMENT OF THE DEPOSITION RATE OF TiO2 FILM IN RF REACTIVE SPUTTERING 
著者
和文: Takahiro Imai, H.Sekiguchi, A.Kanzawa, T.Honda.  
英文: Takahiro Imai, H.Sekiguchi, A.Kanzawa, T.Honda.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:第6回プラズマ材料科学シンポジウム アブストラクト集 
巻, 号, ページ         pp. 43
出版年月 1993年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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