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論文・著書情報


タイトル
和文:PLD法により導入したシード層上にMOCVD法で形成したPZT薄膜の微構造と電気特性 
英文: 
著者
和文: 石田陽平, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
英文: 石田陽平, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第14回日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 3D04    pp. 225
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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