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論文・著書情報


タイトル
和文:パルス制御MOCVD法によるPT-PZ系強誘電体薄膜の作製とその電気特性 
英文: 
著者
和文: 遠藤文徳, 岩崎彰則, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
英文: 遠藤文徳, 岩崎彰則, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本セラミックス協会電子材料部会第19回電子材料研究討論会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 1B05    pp. 47
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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