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論文・著書情報


タイトル
和文:超微細Ｖ字連続溝の転写モデル 
英文: 
著者
和文: 今村博志, 安原鋭幸, 加藤和典, 大竹尚登.  
英文: 今村博志, 安原鋭幸, 加藤和典, 大竹尚登.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会第９回機械材料・材料加工技術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 01    No. 26    pp. 383-384
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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