共振駆動を用いた圧電マイクロポンプ（マイクロシートバルブの提案と実験的検討） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	共振駆動を用いた圧電マイクロポンプ（マイクロシートバルブの提案と実験的検討）
英文:

著者

和文:	朴, 吉田, 中須, 横田, 瀬戸, 高城.
英文:	朴, 吉田, 中須, 横田, 瀬戸, 高城.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成13年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 109-111

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

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英文:

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