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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Dynamic behavior of 30-ps pulsed-laser annealing in ion-implanted Si 
著者
和文: K.Murakami, K.Gamo, M.Kawabe, S.Namba, Y.Aoyagi.  
英文: K.Murakami, K.Gamo, M.Kawabe, S.Namba, Y.Aoyagi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn.J.Appl.Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 18        pp. 2311
出版年月 1979年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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