A.sputtered neutral mass spectrometer with high current,low energy ion bombardment

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A.sputtered neutral mass spectrometer with high current,low energy ion bombardment

著者

和文:	S.Kato, M.Hamagaki, T.Hara, K.Aoyagi, S.Namba, s.Hayashi, S.Yashiro.
英文:	S.Kato, M.Hamagaki, T.Hara, K.Aoyagi, S.Namba, s.Hayashi, S.Yashiro.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Crys.Growth

巻, 号, ページ

Vol. B35 pp. 550

出版年月

1988年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: