Diffusion of carbon atoms in hydrogenated amorphous silicon carbide into hydrogenated amorphous silicon through the interface

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Diffusion of carbon atoms in hydrogenated amorphous silicon carbide into hydrogenated amorphous silicon through the interface

著者

和文:	S.Komuro, Y.Aoyagi, Y.Segawa, S.Namba, H.Okamoto, Y.Hamakawa.
英文:	S.Komuro, Y.Aoyagi, Y.Segawa, S.Namba, H.Okamoto, Y.Hamakawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Appl.Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 55 pp. 3866

出版年月

1984年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: