SiOx formation process between YSZ and Si substrate in YSZ/SIOx/Si thin films by in-situ TEM analysis

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	SiOx formation process between YSZ and Si substrate in YSZ/SIOx/Si thin films by in-situ TEM analysis

著者

和文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Key Engineering Materials

巻, 号, ページ

Vol. 216 pp. 153-156

出版年月

2002年6月

出版者

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会議名称

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開催地

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