Role of Ultra Thin SiOx Layer for Epitaxial Growth of YSZ/SiOx/(001)Si Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Role of Ultra Thin SiOx Layer for Epitaxial Growth of YSZ/SiOx/(001)Si Thin Films

著者

和文:	Takanori KIGUCHI, Naoki WAKIYA, Kazuo SHINOZAKI, Nobuyasu MIZUTANI.
英文:	Takanori KIGUCHI, Naoki WAKIYA, Kazuo SHINOZAKI, Nobuyasu MIZUTANI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of The Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 110 No. 5 pp. 338-342

出版年月

2002年5月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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