RF-magnetron sputtered heteroepitaxial YSZ and CeO2/YSZ/Si(001) thin films with improved capacitance-voltage characteristics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	RF-magnetron sputtered heteroepitaxial YSZ and CeO2/YSZ/Si(001) thin films with improved capacitance-voltage characteristics

著者

和文:	Naoki Wakiya, Makoto Yoshida, Takanori Kiguchi, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Naoki Wakiya, Makoto Yoshida, Takanori Kiguchi, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 411 pp. 268-273

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI