Digital etching of GaAs using alternative incidence of Cl radicals and low energy Arions

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Digital etching of GaAs using alternative incidence of Cl radicals and low energy Arions

著者

和文:	T.Meguro, M.Ishii, H.Kodama, M.Hamagaki, T.Hara, Y.Yamamoto, Y.Aoyagi.
英文:	T.Meguro, M.Ishii, H.Kodama, M.Hamagaki, T.Hara, Y.Yamamoto, Y.Aoyagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	conference on Solid State Devices and Materials

巻, 号, ページ

pp. 893

出版年月

1990年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: