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論文・著書情報


タイトル
和文:応力波を利用した多層膜の膜厚と膜物性の同時同定 
英文:Identification of thickness and properties for multi-layered films by using stress wave 
著者
和文: 天谷賢治, 青木 繁, 工藤 智.  
英文: 天谷賢治, 青木 繁, 工藤 智.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会第14回計算力学講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 01-10    pp. 209-210
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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