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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:In situ pattern etching of GaAs by trimethylindium and H202 gases with electron-beam -induced resist 
著者
和文: E.K.Kim.S.K.Min, K.Ozasa, Y.Aoyagi.  
英文: E.K.Kim.S.K.Min, K.Ozasa, Y.Aoyagi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Semicond.Sci.Technol. 
巻, 号, ページ Vol. 10        pp. 91
出版年月 1995年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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