Induced defects in GaAs ethed by low energy ions in electron beam excited plasma(EEEP)system

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Induced defects in GaAs ethed by low energy ions in electron beam excited plasma(EEEP)system

著者

和文:	J.Z.Yu, N.Masui, Y.Yuba, T.Hara, M.Hamagaki, Y.Aoyagi, K.Gamo, S.Namba.
英文:	J.Z.Yu, N.Masui, Y.Yuba, T.Hara, M.Hamagaki, Y.Aoyagi, K.Gamo, S.Namba.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn.J.Appl.Phys.,

巻, 号, ページ

Vol. 28 pp. L1010

出版年月

1989年

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

和文:
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