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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Molecular layer etching of GaAs 
著者
和文: Y.Aoyagi, K.Shinmura, K.Kawasaki, T.Tanaka, K.Gamo, S.Namba, I.Nakamoto.  
英文: Y.Aoyagi, K.Shinmura, K.Kawasaki, T.Tanaka, K.Gamo, S.Namba, I.Nakamoto.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Appl.Phys.Lett., 
巻, 号, ページ Vol. 60        pp. 968
出版年月 1992年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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