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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deve;p@,emt amnd application of a compact electron cyclotron resonance source 
著者
和文: P.O'Keeffe, S.Komuro, S.Den, T.Morikaa, Y.Aoyagi.  
英文: P.O'Keeffe, S.Komuro, S.Den, T.Morikaa, Y.Aoyagi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn.J.Appl.Phy. 
巻, 号, ページ Vol. 30        pp. 3164
出版年月 1991年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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