Study on surface decomposition processes of alkylgallium molecules in laser-ALE

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study on surface decomposition processes of alkylgallium molecules in laser-ALE

著者

和文:	T.Meguro, JP.simko, S.Iwai, K.Ozawa, A.Hirata, Y.Aoyagi, T.Sugano.
英文:	T.Meguro, JP.simko, S.Iwai, K.Ozawa, A.Hirata, Y.Aoyagi, T.Sugano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	11th Rec.Alloy Semicond.Phy.and Elec.Symp.

巻, 号, ページ

pp. 231

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: