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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deposition of gallium oxide and indium oxide on GaAs for in situ process use by alternating supply of TEGa,TMIn, and H202 as surge pulses 
著者
和文: K.Szasa, T.Ye, Y.Aoyagi.  
英文: K.Szasa, T.Ye, Y.Aoyagi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J.Vac.sci.Technol. 
巻, 号, ページ Vol. A12        pp. 120
出版年月 1994年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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