Surface reaction control in digital etching of GaAs by using a tunable UV laser system:reaction control mechanism in layer-by-layer etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface reaction control in digital etching of GaAs by using a tunable UV laser system:reaction control mechanism in layer-by-layer etching

著者

和文:	M.Ishii, T.Meguro, T.Sugano, K.Gamo, Y.Aoyagi.
英文:	M.Ishii, T.Meguro, T.Sugano, K.Gamo, Y.Aoyagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl.Surf.Sci.

巻, 号, ページ

Vol. 86 pp. 554

出版年月

1995年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: