非晶質YSZ層によるYSZ/SiOx/Siエピタキシャル薄膜のC-V特性の向上の可能性

論文・著書情報

タイトル

和文:	非晶質YSZ層によるYSZ/SiOx/Siエピタキシャル薄膜のC-V特性の向上の可能性
英文:	Possibility of enhancement of C-V property of YSZ/SiOx/Si epitaxial thin films by introducing amorphous YSZ layer

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	インテリジェント材料シンポジウム
英文:	Symposium of intelegent materials

巻, 号, ページ

No. B18 pp. 94-95

出版年月

2001年2月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:	お茶の水
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