High-performance metal-ferroelectric-insulator-semiconductor structure with a damage-free and hydrogen-free sillicon-nitride buffer layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-performance metal-ferroelectric-insulator-semiconductor structure with a damage-free and hydrogen-free sillicon-nitride buffer layer

著者

和文:	Y.Fujisaki, T.Kijima, H.Ishiwara.
英文:	Y.Fujisaki, T.Kijima, H.Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 78 No. 9 pp. 1285-1287

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: