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論文・著書情報


タイトル
和文:MOCVD-Ir薄膜形成過程における酸素分圧の影響 
英文: 
著者
和文: 緒方信人, 石原宏.  
英文: 緒方信人, 石原宏.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第62回応用物理学会学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 13a-ZR-2   
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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