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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Al2O3/Si3N4 buffer layer for high performance MFIS transistors 
著者
和文: Y.Fujisaki, H.Ishiwara.  
英文: Y.Fujisaki, H.Ishiwara.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:2001 Material Research Society Fall Meeting 
巻, 号, ページ     No. C11.4   
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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