Oxygen atomic flux O enhancement by gas-pulsed electron cyclotron resonanc plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Oxygen atomic flux O enhancement by gas-pulsed electron cyclotron resonanc plasma

著者

和文:	Y.J.Park, P.O'Keeffe, K.Ozasa, H.Mutoh, Y.Aoyagi, J.K.Min.
英文:	Y.J.Park, P.O'Keeffe, K.Ozasa, H.Mutoh, Y.Aoyagi, J.K.Min.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Appl.Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 81 pp. 2114

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: