A novel low temperature plasma generator with alumina coated electrode for open air material processing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A novel low temperature plasma generator with alumina coated electrode for open air material processing

著者

和文:	M. Koide, T. Horiuchi, T. Inushima, B.J. Lee, M. Tobayama, H. Koinuma.
英文:	M. Koide, T. Horiuchi, T. Inushima, B.J. Lee, M. Tobayama, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 316 pp. 65-67

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: