YSZ/SiOx/Si薄膜の結晶化過程の加熱in-situ TEM観察

論文・著書情報

タイトル

和文:	YSZ/SiOx/Si薄膜の結晶化過程の加熱in-situ TEM観察
英文:	Heating in-situ TEM analysis of crystallization process of YSZ/SiOx/Si thin films

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本電子顕微鏡学会関東支部　第２６回講演会予稿集
英文:	Proceeding of 26th meeting of Kantoh devision of the Japanese Society of Electron Microscopy

巻, 号, ページ

No. P14 pp. 112

出版年月

2002年3月

出版者

和文:	日本電子顕微鏡学会関東支部　第２６回講演会予稿集
英文:	Proceeding of 26th meeting of Kantoh devision of the Japanese Society of Electron Microscopy

会議名称

和文:	日本電子顕微鏡学会関東支部　第２６回講演会
英文:

開催地

和文:	東京（日本女子大）
英文: