RFマグネトロンスパッタ法によるB-C-N薄膜の合成

論文・著書情報

タイトル

和文:	RFマグネトロンスパッタ法によるB-C-N薄膜の合成
英文:	Preparation of B-C-N Films by RF Magnetron Sputtering

著者

和文:	百瀬英明, 楊　旭東, 安原鋭幸, 大竹尚登.
英文:	百瀬英明, 楊　旭東, 安原鋭幸, 大竹尚登.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集（C編）
英文:	Transactions of the Japanese Society of Mechanical Engineers

巻, 号, ページ

Vol. 68 No. 669 pp. 1562-1568

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI