Growth and Characterization of Phosphorus Doped Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Alloy Grown by Photo- and Plasma-CVD at Very Low Temperature

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth and Characterization of Phosphorus Doped Si_1-yC_y Alloy Grown by Photo- and Plasma-CVD at Very Low Temperature

著者

和文:	Katsuya Abe, Shuhei Yagi, Takashi Okabayashi, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Katsuya Abe, Shuhei Yagi, Takashi Okabayashi, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Material Science and Engineering

巻, 号, ページ

Vol. B89 pp. 303-305

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: