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論文・著書情報


タイトル
和文:電子ビーム励起プラズマ援用PVD法によるDLC合成 
英文: 
著者
和文: 田淵公一, 比田井洋史, 戸倉和, 平田敦.  
英文: Kouichi Tabuchi, Hirofumi Hidai, Hitoshi Tokura, Atsuhi Hirata.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2002年度精密工学会春期大会学術講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 301
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:精密工学会春期大会 
英文: 
開催地
和文:東京都目黒区 
英文: 
公式リンク http://ci.nii.ac.jp/naid/10008500382
 

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