シリコン結晶成長プロセスシミュレーションに要求される熱物性値 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	シリコン結晶成長プロセスシミュレーションに要求される熱物性値
英文:

著者

和文:	福山博之, 塚田隆夫, 渡邉匡人, 田中敏宏, 馬場哲也, 日比谷孟俊.
英文:	福山博之, 塚田隆夫, 渡邉匡人, 田中敏宏, 馬場哲也, 日比谷孟俊.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本熱物性シンポジウム第23回講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 39-41

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.