Development of combinatorial PLD-STM system for the quick nano-fabrication and evaluation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of combinatorial PLD-STM system for the quick nano-fabrication and evaluation

著者

和文:	Y. Matsumoto, T. Ohsawa, R. Takahashi, H. Koinuma.
英文:	Y. Matsumoto, T. Ohsawa, R. Takahashi, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mat. Res. Soc. Symp. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 700 pp. 3-11

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: