Low temperature epitaxial growth of Si and Si1-yCy films by hot wire cell method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low temperature epitaxial growth of Si and Si1-yCy films by hot wire cell method

著者

和文:	Tatsuro WATAHIKI, Katsuya ABE, Hajime TAMURA, Shinsuke MIYAJIMA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Tatsuro WATAHIKI, Katsuya ABE, Hajime TAMURA, Shinsuke MIYAJIMA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 395 pp. 221-224

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: