Fabrication of Micro Electro-rheological Valves (ER Valves) by Micromachining and Experiments

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Micro Electro-rheological Valves (ER Valves) by Micromachining and Experiments

著者

和文:	Kazuhiro YOSHIDA, Masaaki KIKUCHI, Jung-Ho PARK, Shinichi YOKOTA.
英文:	Kazuhiro YOSHIDA, Masaaki KIKUCHI, Jung-Ho PARK, Shinichi YOKOTA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A

巻, 号, ページ

Vol. 95 No. 2-3 pp. 227-233

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: