Structure and electrical property of platinum film bias dc-sputter-deposited on silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Structure and electrical property of platinum film bias dc-sputter-deposited on silicon

著者

和文:	D. Kojima, K. Makihara, J. Shi, M. Hashimoto.
英文:	D. Kojima, K. Makihara, J. Shi, M. Hashimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Surface Science

巻, 号, ページ

Vol. 169-170 pp. 320

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: