Preparation of PZT thin film with compositionally gradient buffer layer by pulsed MO-source CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of PZT thin film with compositionally gradient buffer layer by pulsed MO-source CVD

著者

和文:	K. Shinozaki, A. Endo, A. Iwasaki, A. Saiki, N. wakiya, N. Mizutani.
英文:	K. Shinozaki, A. Endo, A. Iwasaki, A. Saiki, N. wakiya, N. Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Dielectric Msataerials and Devices, Ed. by K. M. Nair, The American Ceramic Society, et. al

巻, 号, ページ

pp. 47-55

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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